一种晶舟盒内晶圆位置检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202210289165.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114379830B | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN114379830B | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | B65B7/28（2006.01）I;B65B57/20（2006.01）I;G01B11/00（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 乔从缓;闻国涛;乔立宝;于文奇;孙玉男 | 申请（专利权）人 | 南京伟测半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 郑州裕晟知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 210000江苏省南京市浦口区浦口经济开发区双峰路69号C-93 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种晶舟盒内晶圆位置检测装置，包括处理单元和输送带，所述输送带上依次设置有合盖位和后拍照位，所述输送带上方对应合盖位设置有合盖机械臂，所述输送带上方对应后拍照位设置有后拍照机械臂；所述后拍照机械臂包括可上下伸缩的第三伸缩架和设置在第三伸缩架上的后拍照机组，所述后拍照机组包括从前方、后方、左方、右方和上方分别对到达后拍照位的晶舟盒拍照的五个相机；通过后拍照机组对盖上盒盖的盒体进行拍照，分辨晶舟盒的盒盖是否盖好、晶舟盒内的晶圆的位置是否正确，若一旦有位置错误，则报警提醒人工介入处理，防止晶圆由于位置错位而导致的后续运输过程中出现晶圆破裂等问题。 |
