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一种全方位检测晶舟盒内晶圆的装置

基本信息

申请号 CN202210299267.X 申请日 -
公开（公告）号 CN114400190B 公开（公告）日 2022-06-10
申请公布号 CN114400190B 申请公布日 2022-06-10
分类号 H01L21/66（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 杨恭乾;路峰;陈天翼 申请（专利权）人 南京伟测半导体科技有限公司
代理机构 郑州裕晟知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 210000江苏省南京市浦口区浦口经济开发区双峰路69号C-93
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种全方位检测晶舟盒内晶圆的装置，包括能够放置不同尺寸晶舟盒的放置平台，通过支撑杆固定在放置平台上侧的顶部摄像组件；放置平台上呈正方形布置有四个侧方摄像组件，所述侧方摄像组件包括摄像平台，摄像平台上设置有侧方摄像机，所述摄像平台能够驱动侧方摄像机移动；四个侧方摄像组件之间交错布置有卡扣，卡扣能够向着或远离所述放置平台的中心处移动，以对不同尺寸的晶舟盒进行固定；侧方摄像组件一侧设置有扫码枪；顶部摄像机、点位摄像机、侧方摄像机、扫码枪均连接至MES系统处理中心；本发明通过图像识别技术，对晶舟盒内的晶圆摆放情况进行全方位的自动检测，提高晶圆生产过程中的安全性，降低次品率。