一种晶圆清理装置
基本信息
| 申请号 | CN202123285659.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216539937U | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN216539937U | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | B08B5/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B5/04（2006.01）I;B01D46/02（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 刘琨 | 申请（专利权）人 | 南京伟测半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海和华启核知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 211806江苏省南京市浦口区浦口经济开发区双峰路69号C-93 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型揭示了一种晶圆清理装置，包括操作台，所述操作台上通过第一安装架安装有至少两个清理头，所述清理头上连接有通气管，所述通气管远离所述清理头一端通过脚踏压力阀连接有气体管道。本实用新型在清理过程中可双手控制晶圆移动，保持晶圆清理过程的稳定性。 |
