一种低温探针台清针砂纸的更换装置和更换方法
基本信息
| 申请号 | CN202210276338.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114346873A | 公开（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申请公布号 | CN114346873A | 申请公布日 | 2022-06-24 |
| 分类号 | B24B27/033;B24B55/00;G01R3/00 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 刘朋;闻国涛;关姜维;雷庆汪;刘清华 | 申请（专利权）人 | 南京伟测半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 郑州裕晟知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王宇飞 |
| 地址 | 210000 江苏省南京市浦口区浦口经济开发区双峰路69号C-93 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种低温探针台清针砂纸的更换装置，包括设置在探针台机台内的中转仓，所述中转仓的前侧设置有开设在探针台机台前壁上的前门，所述中转仓的后侧开设有后门，所述中转仓内设置有用于转移清针板的搬运装置；本发明还涉及一种低温探针台清针砂纸的更换方法，通过在探针台机台内隔离出一个中转过渡空间，更换的清针砂纸在换到托架上前先在中转过渡空间内静置，待温度与探针台机台内的低温一致后再开放中转过渡空间与探针台机台内部连通，之后对当前使用的清针砂纸进行更换；本发明的装置和方法在更换清针砂纸时避免了直接开启探针台机台前门导致的大量的低温损失，降低了测试风险、减少误测，提高了测试效率。 |
