一种氮化镓传感器、制备方法和多传感器系统
基本信息
| 申请号 | CN201510845956.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105424780A | 公开（公告）日 | 2016-03-23 |
| 申请公布号 | CN105424780A | 申请公布日 | 2016-03-23 |
| 分类号 | G01N27/414 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 法比奥·圣阿加塔;艾莉娜·耶尔沃利诺;罗伯特·索科洛夫斯基;董明智;张国旗;王小葵 | 申请（专利权）人 | 北京代尔夫特电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京煦润律师事务所 | 代理人 | 周倩 |
| 地址 | 101300 北京市顺义区高丽营镇文化营村北(临空二路1号) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种氮化镓传感器、制备方法和多传感器系统，该传感器包括：异质半导体衬底，以及位于其上的III族氮化物基HEMT结构的晶体管；其中，所述晶体管的源极和漏极金属均设置在晶体管顶层的半导体之上，栅极表面具有经功能化处理得到的功能化膜，源极和漏极之间裸露的栅极区域形成传感区域；通过检测所述传感区域的电流变化，实现对与所述传感区域接触的待检测物的浓度检测。本发明的方案，可以克服现有技术中灵敏度低、检测范围小和便携性差等缺陷，实现灵敏度高、检测范围大和便携性好的有益效果。 |
