一种半导体溅合设备专用测试装置
基本信息
| 申请号 | CN202022289109.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213689530U | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN213689530U | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | G01N33/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 吴庆岩 | 申请（专利权）人 | 浙江蔚福科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州昱呈专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 雷仕荣 |
| 地址 | 314100浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鑫达路99号15号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体技术领域，特别是一种半导体溅合设备专用测试装置，包括框架本体、悬臂梁、检测模块、第一液体测试组件、第二液体测试组件、第一气体测试组件和第二气体测试组件，所述框架本体包括底板、第一竖板、第二竖板和辅助板，所述第一竖板与第二竖板分别竖直安装在底板的两侧。本实用新型优点在于：将需测试的气体通过第一进气口输送至第一连接管内，并将第一连接管的另一端连接第一气体流量传感器，使得第一气体流量传感器可以对第一连接管的气体进行测试，测试完成后，通过连接第一输液接口，将清洁液体输送至第一连接管内，对第一连接管内进行清洁，防止因第一连接管内残留的测试气体，而影响后续测试的结果。 |
