自动气液分离供酸系统
基本信息
| 申请号 | CN202122096489.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215611113U | 公开（公告）日 | 2022-01-25 |
| 申请公布号 | CN215611113U | 申请公布日 | 2022-01-25 |
| 分类号 | B01F33/80（2022.01）I;B01F35/83（2022.01）I;B01F35/214（2022.01）I;B01D19/00（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 左国军;饶相松;成旭;李雄朋;陈雷;邱瑞;申斌 | 申请（专利权）人 | 创微微电子（常州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京友联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汪海屏;王淑梅 |
| 地址 | 213133江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提出了一种自动气液分离供酸系统，属于半导体及泛半导体技术领域，自动气液分离供酸系统包括：药液桶，药液桶用于盛放液体；泵体，泵体的一端与药液桶连通；气液分离罐，与泵体的另一端连通，气液分离罐中设有网板，网板上设有通孔，其中，泵体用于抽取液体到气液分离罐中，网板用于打散液体中的气泡。通过本申请的技术方案，可自动过滤泵体抽空产生的气泡，不需要人干预，从而提高配液精度，进而改善工艺槽配液精度。 |
