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烘干设备

基本信息

申请号 CN202120761513.X 申请日 -
公开（公告）号 CN214665673U 公开（公告）日 2021-11-09
申请公布号 CN214665673U 申请公布日 2021-11-09
分类号 F26B9/06（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I 分类 干燥;
发明人 左国军;成旭;谈丽文;陈雷;申斌;邱瑞 申请（专利权）人 创微微电子（常州）有限公司
代理机构 北京友联知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 尚志峰;汪海屏
地址 213133江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请属于晶圆干燥技术领域，提供烘干设备。烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封闭的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽风腔与烘干腔相互连通；气路安装区，与烘干腔通过管路连接，气路安装区用于为烘干腔输入加热氮气；主抽风管道，与烘干区连接，主抽风管道用于排出废气；框架，用于设置烘干区、气路安装区与主抽风管道。本申请通过框架实现了结构优化，提升了安装空间，更有利于操作，且可以防止外部厂务空气对内部晶圆的污染。通过向烘干腔充入加热氮气，能够减少现场操作人员以及设备的安全隐患，还降低了处理废气的成本。