半导体清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202122108950.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215815803U | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN215815803U | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 左国军;龚泽熙;庄海云;李雄朋 | 申请（专利权）人 | 创微微电子（常州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京友联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汪海屏;王淑梅 |
| 地址 | 213133江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种半导体清洗设备，包括：机架；多个处理槽，多个处理槽位于机架内；门组件，设于机架上，与机架活动连接；连接机构，包括电磁铁组件和吸附组件，电磁铁组件和吸附组件分别设于机架和门组件上，连接机构用于使门组件相对于机架处于开启或闭合状态；提示装置，设于门组件上，用于提示门组件的实时状态。通过本申请的技术方案，门组件能够在机架上实现自锁和解锁，可以防止人为疏漏，并且方便维护工作。 |
