清洗槽和清洗装置

基本信息

申请号 CN202122377057.1 申请日 -
公开(公告)号 CN215955237U 公开(公告)日 2022-03-04
申请公布号 CN215955237U 申请公布日 2022-03-04
分类号 H01L21/67(2006.01)I;B08B3/10(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 左国军;陈雷;李雄朋;邱瑞;饶相松;龚泽熙 申请(专利权)人 创微微电子(常州)有限公司
代理机构 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 尚志峰;王淑梅
地址 213133江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提出了一种清洗槽和清洗设备,其中,清洗槽包括:槽体组件,槽体组件设有开口,内部具有腔体;第一挡板,设于槽体组件的开口一侧,并遮挡部分开口;第二挡板,设于槽体组件的开口一侧,与第一挡板相对设置,并遮挡部分开口;盖板组件,设于槽体组件开口处,盖板组件能够开启或闭合,其中,在盖板组件闭合时,盖板组件的至少部分位于第一挡板和第二挡板之间,以关闭开口。本实用新型提出的清洗槽,第一挡板和第二挡板可以针对槽体组件的结构,将结构复杂,无法设置可开合盖体组件的部分进行遮挡,增强第一挡板和盖板组件之间的密封性,增强第二挡板和盖板组件之间的密封性,减少了清洗槽开口处的缝隙,减少清洗液的蒸发量,节约成本。