晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110316188.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113161254A | 公开（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申请公布号 | CN113161254A | 申请公布日 | 2021-07-23 |
| 分类号 | H01L21/66;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 左国军;任金枝;范生刚;马冠男 | 申请（专利权）人 | 创微微电子（常州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京友联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汪海屏;王淑梅 |
| 地址 | 213133 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法。其中，晶圆视觉检测方法包括：在上料区检测晶圆盒的位置偏移；在工作区检测晶圆的损坏情况；在下料区检测晶圆的第一数量。从而利用在不同区域的晶圆盒定位、晶圆损坏情况、晶圆数量检测，完善晶圆的检测机制，保证检测数据的准确性，使得用户可以实时监控晶圆和晶圆盒的状态，有效的避免设备异常造成的成本损失。 |
