载体摆动机构和处理设备
基本信息
| 申请号 | CN202110402756.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113097110A | 公开（公告）日 | 2021-07-09 |
| 申请公布号 | CN113097110A | 申请公布日 | 2021-07-09 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 左国军;申斌;饶相松;成旭;李雄朋;陈雷;任金枝 | 申请（专利权）人 | 创微微电子（常州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京友联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 尚志峰;汪海屏 |
| 地址 | 213133江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的实施例提供了一种载体摆动机构和处理设备，其中载体摆动机构包括：摆动平台，摆动平台的底部设有摆动轴；动力组件；传动组件，传动组件的两端分别连接动力组件和摆动平台，动力组件用于通过传动组件带动摆动平台绕摆动轴摆动。本发明的技术方案中，动力组件能够通过传动组件驱动摆动平台摆动，即摆动平台能够相对处理槽进行摆动，放置在摆动平台上的待处理件可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件在处理槽内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗干燥死区，提升清洗效果及清洗效率。 |
