晶圆烘干槽、晶圆烘干装置
基本信息
| 申请号 | CN202120768649.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214665674U | 公开（公告）日 | 2021-11-09 |
| 申请公布号 | CN214665674U | 申请公布日 | 2021-11-09 |
| 分类号 | F26B9/06（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 左国军;陈雷;成旭;李雄朋;申斌;谈丽文;邱瑞;饶相松 | 申请（专利权）人 | 创微微电子（常州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京友联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 尚志峰;汪海屏 |
| 地址 | 213133江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及晶圆烘干设备技术领域，提供了一种晶圆烘干槽、晶圆烘干装置，用于对晶圆进行烘干。晶圆烘干槽包括：槽体；管道系统，管道系统用于朝向槽体内的不同方向通入气体，以在槽体内交汇形成混合气流场。本申请将多个晶圆置于槽体内，通过管道系统从多个方向朝向槽体内通入气体，可以在槽体内形成混合气流场，混合气流场是流动的，因此，在槽体内形成的烘干区域能够覆盖整个晶圆尺寸范围，以保证晶圆表面的洁净度。 |
