半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202122489264.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215988678U | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN215988678U | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 左国军;邱瑞;成旭;李雄朋;陈雷;谈丽文;申斌 | 申请（专利权）人 | 创微微电子（常州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京友联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汪海屏;王淑梅 |
| 地址 | 213133江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出了一种半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备，半导体清洗设备的隔离装置包括：驱动模块，包括主体和活动部，主体用于驱动活动部移动；多个缓冲器，沿活动部的位移路径，分别位于活动部的第一侧和第二侧；挡板，与活动部相连接。本实用新型提出的半导体清洗设备的隔离装置，活动部可活动地设置在主体上，主体可驱动活动部移动，并且，活动部上设置有挡板，能够隔离两个清洗槽，进而在半导体清洗过程中，降低两个清洗槽之间酸气相互蹿动的可能，提升半导体洁净度和良品率，并且，可以通过活动部的运动，使得挡板不再间隔两个清洗槽，从而便于半导体在两个清洗槽之间的运输。 |
