基于MEMS的非等间距梳齿结构专利查询专利号|摘要-满商公司网

基于MEMS的非等间距梳齿结构

基本信息

申请号	CN202023278014.X	申请日	-
公开（公告）号	CN214011635U	公开（公告）日	2021-08-20
申请公布号	CN214011635U	申请公布日	2021-08-20
分类号	G02B26/08（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I	分类	光学;
发明人	孙其梁;徐乃涛;程进;张添添	申请（专利权）人	无锡微视传感科技有限公司
代理机构	无锡华源专利商标事务所（普通合伙）	代理人	聂启新
地址	213400江苏省无锡市锡山二泉东路集智广场14层
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了基于MEMS的非等间距梳齿结构，涉及微机电技术领域，包括围绕转轴旋转的上梳齿结构以及位于上梳齿结构下方的下梳齿结构，上梳齿结构包括若干个间隔设置的可动梳齿，且越远离转轴可动梳齿的梳齿间隙逐渐增大，下梳齿结构包括若干个等间隔设置的固定梳齿，可动梳齿与固定梳齿沿梳齿布置方向交错设置、互不接触，且可动梳齿的下边缘与固定梳齿的上边缘齐平，每个可动梳齿与其相邻右侧的固定梳齿的水平间距均不相等，根据水平间距设定值，对非等间距梳齿结构施加电压时，可动梳齿运动至对应的相邻固定梳齿间隙时，每个可动梳齿的中心点均保持在对应的相邻固定梳齿间隙的中轴线上。因此不会出现异常吸合，保证MEMS器件的可靠性。