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一种水雾浸润悬空膜空腔结构及方法

基本信息

申请号 CN202110706867.9 申请日 -
公开（公告）号 CN113488409A 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN113488409A 申请公布日 2021-10-08
分类号 H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 袁佳;孙其梁;徐乃涛;程进 申请（专利权）人 无锡微视传感科技有限公司
代理机构 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） 代理人 聂启新
地址 213400江苏省无锡市锡山二泉东路集智广场14层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种水雾浸润悬空膜空腔结构及方法，包括用于固定晶圆的套具、与套具配合使用的加湿器，套具包括两端敞口的底托、安装于底托顶部的盖子，底托和盖子形成的腔室中设有喷雾花洒，所述喷雾花洒上设有若干喷孔；在喷雾花洒的圆周位置设有用于承托晶圆的托件，加湿器包括水槽、位于水槽中的水雾出口，水雾出口与喷雾花洒的进水口连通，水槽的内壁与底托的外壁贴合。所述盖子为锥形，承托台阶内壁为指向水槽圆心的斜面，托件安装于承托台阶内壁上。本发明通过利用加湿器喷出的水雾，借助特制套具的功能，将水雾均匀的分布在晶圆的空腔内，从而实现浸润效果，很大程度的降低了加工成本，提高了效率。