一种超大角度电磁驱动微镜
基本信息
| 申请号 | CN202110388029.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112904553A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112904553A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | G02B26/08 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 程进;徐乃涛;孙其梁;李宋泽;隋明达 | 申请（专利权）人 | 无锡微视传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 聂启新 |
| 地址 | 213400 江苏省无锡市锡山二泉东路集智广场14层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种超大角度电磁驱动微镜，涉及微机电系统技术领域，包括微镜以及设于微镜两侧的新型磁体结构、驱动线圈和锚点，微镜通过两个对称的扭转梁分别连接锚点的一侧，锚点的另一侧通过扭转梁连接微镜的硅基板，锚点用于固定微镜；驱动线圈设置在微镜两侧的硅基板上，每侧的新型磁体结构围绕驱动线圈设置，用于产生与驱动线圈运动轨迹相切的辐射状磁场；驱动线圈外接电源时，使作用于硅基板上的扭转力矩方向相同，微镜通过硅基板传递的扭转力矩以扭转梁为轴发生偏转。该结构能够在小电流下得到更大的偏转角度，减低了功率；且偏转时磁场强度不变，驱动线圈的电磁力只沿扭转力矩方向，并与驱动电流呈线性关系，可控性高。 |
