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一种离轴式MEMS微镜及其制备方法

基本信息

申请号	CN202110176090.X	申请日	-
公开（公告）号	CN112965240A	公开（公告）日	2021-06-15
申请公布号	CN112965240A	申请公布日	2021-06-15
分类号	G02B26/08（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;B81B5/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I	分类	光学;
发明人	徐乃涛;程进;孙其梁;李宋泽	申请（专利权）人	无锡微视传感科技有限公司
代理机构	无锡华源专利商标事务所（普通合伙）	代理人	聂启新
地址	213400江苏省无锡市锡山二泉东路集智广场14层
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种离轴式MEMS微镜及其制备方法，涉及微机电技术领域，包括第一微镜、第二微镜、第一固定梳齿、第二固定梳齿、驱动电极，第一微镜和第二微镜以转轴为轴同步转动，第一微镜用于入射激光的扫描反射，第二微镜用于同步接收反射激光，驱动电极提供驱动电压；两个微镜的动梳齿之间以及分别与两个固定梳齿形成第一垂直梳齿对、第二垂直梳齿对和第三垂直梳齿对，第一垂直梳齿对、第二垂直梳齿对分别为第一微镜和第二微镜提供顺时针方向偏转的驱动力，第三垂直梳齿对为第一微镜和第二微镜提供逆时针方向偏转的驱动力，通过制造垂直梳齿对结构间的电势差使两个微镜在某个周期段相互吸引、不再独立控制，实现完全同频、同相位的偏转状态。