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一种用于MEMS微镜的防撞结构

基本信息

申请号 CN202021511994.0 申请日 -
公开（公告）号 CN213544953U 公开（公告）日 2021-06-25
申请公布号 CN213544953U 申请公布日 2021-06-25
分类号 G02B26/08（2006.01）I;F16F15/04（2006.01）I 分类 光学;
发明人 孙其梁;徐乃涛;程进;李宋泽 申请（专利权）人 无锡微视传感科技有限公司
代理机构 北京伊诺未来知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 杨群
地址 214000江苏省无锡市锡山经济技术开发区二泉东路19号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于MEMS微镜的防撞结构，包括底板，所述底板顶端分别开设有多个限位槽与多个卡槽，多个所述卡槽卡合连接有多个卡块，多个所述卡块顶端共同连接有防护板，所述防护板顶端固定连接有顶板，所述限位槽内侧壁光滑贴合有限位杆，本实用新型通过设置限位杆与弹簧，限位杆的设置避免弹簧在受到震动时而偏移，从而减少MEMS微镜主体的晃动幅度，从而大大提高MEMS微镜主体工作时的稳定性，该装置操作简单，使用效果更好，大大提高MEMS微镜主体减震效果，从而使得MEMS微镜主体可以更加稳定的工作，避免MEMS微镜主体受震动而损伤。