一种扩散炉
基本信息
| 申请号 | CN202123454580.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216719881U | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN216719881U | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;C30B31/16（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张景;张良;程尚之 | 申请（专利权）人 | 安徽华晟新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 242000安徽省宣城市开发区安徽省宣城经济技术开发区科技园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种扩散炉。所述扩散炉包括：扩散反应腔；气路管，所述气路管包括：气路主体管、以及与所述气路主体管连接的气路进口段和气路出口段；所述气路主体管位于所述扩散反应腔的腔内，所述气路进口段和所述气路出口段位于所述扩散反应腔的腔外；所述气路主体管的管壁开设有若干个扩散气孔；承载件，沿所述气路主体管的延伸方向设置于所述扩散反应腔的腔内，适于承载待处理衬底。所述扩散炉加工方式简单，可以提高扩散反应腔内扩散气体的均匀性，充分去除扩散炉内残留的气体污染物，还可以减少扩散反应腔降温冷却的时间，加快工艺进度。 |
