一种硅料真空烘干装置

基本信息

申请号 CN202120301332.9 申请日 -
公开(公告)号 CN214333207U 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN214333207U 申请公布日 2021-10-01
分类号 F26B5/04(2006.01)I;F26B11/16(2006.01)I;F26B23/08(2006.01)I;F26B25/04(2006.01)I 分类 干燥;
发明人 不公告发明人 申请(专利权)人 广东珠海香洲高景太阳能技术有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 卢泽明
地址 519000广东省珠海市香洲区拱北桂花北路205号北岭桂花工业村1栋1层11100室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种硅料真空烘干装置,包括烘干槽和真空发生器,所述烘干槽设有抽真空通道,所述真空发生器与所述抽真空通道气道连接,所述烘干槽包括烘干主槽和烘干内层,所述烘干内层设于所述烘干主槽的内侧,所述烘干内层由非金属材料制成。本实用新型中烘干槽的烘干内层由非金属材料制成,更具体的为四氟材料制成,避免了烘干槽在使用过程中可能出现的碎屑产生的隐患,杜绝了任何形式的金属直接或间接接触硅料的情况,解决了硅料经过真空后出现表面金属杂质含量提高的问题,提高硅料纯度,保证生产质量。