一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法
基本信息
| 申请号 | CN201610083101.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105741337A | 公开（公告）日 | 2016-07-06 |
| 申请公布号 | CN105741337A | 申请公布日 | 2016-07-06 |
| 分类号 | G06T11/40(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 沈显勇 | 申请（专利权）人 | 合肥亚歌半导体科技合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所 | 代理人 | 合肥亚歌半导体科技合伙企业（有限合伙）;合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新区天智路20号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法，与现有技术相比解决了三角形填充速度慢的缺陷。本发明包括以下步骤：三角形预处理，对三角形进行线段拆分分组；计算相同Y值下的X点的坐标值，针对线段集合Z中的线段分组进行并行处理，均计算出相同Y值下X点的坐标值；数据填充，对线段集合Z中的线段分组进行并行填充处理。本发明通过FPGA技术实现三角形的填充，提高了填充速度，从而提高直写光刻机的产能。 |
