一种用于半导体无掩膜直写曝光设备的吸盘定位装置
基本信息
| 申请号 | CN201620109029.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205539930U | 公开（公告）日 | 2016-08-31 |
| 申请公布号 | CN205539930U | 申请公布日 | 2016-08-31 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 沈显勇 | 申请（专利权）人 | 合肥亚歌半导体科技合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所 | 代理人 | 张祥骞;奚华保 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新区天智路20号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于半导体无掩膜直写曝光设备的吸盘定位装置，与现有技术相比解决了吸盘定位销钉更换困难、定位衬底尺寸兼容性差的缺陷。本实用新型的滑槽A上安装有定位块组件A，滑槽B上均安装有定位块组件B，定位块组件A与定位块组件B两者结构相同；所述的定位块组件A包括定位滑块和紧定螺钉，定位滑块活动安装在滑槽A上且与滑槽A构成滑动配合，紧定螺钉安装在定位滑块上，定位滑块的上表面高于吸盘组件的上表面。本实用新型能够适用于所有标准尺寸衬底及非标衬底的吸盘定位，且定位调节更加简便。 |
