一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置
基本信息
| 申请号 | CN201620109028.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205539929U | 公开（公告）日 | 2016-08-31 |
| 申请公布号 | CN205539929U | 申请公布日 | 2016-08-31 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 沈显勇 | 申请（专利权）人 | 合肥亚歌半导体科技合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所 | 代理人 | 合肥亚歌半导体科技合伙企业（有限合伙）;合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新区天智路20号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置，与现有技术相比解决了高、低倍物镜切换不便的缺陷。本实用新型的高倍物镜系统安装在工作台上且位于左反射镜A和左反射镜B之间，右双面反射镜设有右反射镜A和右反射镜B，低倍物镜系统安装在工作台上且位于右反射镜A和右反射镜B之间，运动滑台上安装有四面反射棱柱，四面反射棱柱上设有反射面A、反射面B、反射面C和反射面D，反射面A与左反射镜A相平行，反射面B与左反射镜B相平行，反射面C与右反射镜A相平行，反射面D与右反射镜B相平行。本实用新型能够方便地进行高倍物镜与低倍物镜的切换，只进行导光而不进行分光，整个光路能量损失小。 |
