对垂直腔表面发射激光器的导电结构进行改进的装置和方法
基本信息
申请号 | CN03809926.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN1650489A | 公开(公告)日 | 2005-08-03 |
申请公布号 | CN1650489A | 申请公布日 | 2005-08-03 |
分类号 | H01S3/08 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | X·张 | 申请(专利权)人 | 华夏智慧城市(北京)科技有限公司 |
代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 路美光电公司;华夏智慧城市(北京)科技有限公司 |
地址 | 美国加利福尼亚州 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 在垂直腔表面发射激光器(VCSEL)(200)的筒体上形成高掺杂的半导体层(280),从而提供电流传导并使电流散布穿过并进入激光器筒体的开孔中,同时无需挡光的导电性接触件突出。该VCSEL (200)包括基底、第一分布式布拉格反射体(DBR)(230)、激活区(240)、具有非导电性离子注入区(255)和第一直径(260)的激光器筒体区的第二DBR、高掺杂的半导体层(280),以及导电性接触件(215)。该导电性接触件限定了具有大于第一直径的第二直径(265)的开口。 |
