对垂直腔表面发射激光器的导电结构进行改进的装置和方法

基本信息

申请号 CN03809926.8 申请日 -
公开(公告)号 CN1332487C 公开(公告)日 2007-08-15
申请公布号 CN1332487C 申请公布日 2007-08-15
分类号 H01S5/18(2006.01);H01S3/08(2006.01);H01S5/00(2006.01) 分类 基本电气元件;
发明人 X·张 申请(专利权)人 华夏智慧城市(北京)科技有限公司
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 路美光电公司;华夏智慧城市(北京)科技有限公司
地址 美国加利福尼亚州
法律状态 -

摘要

摘要 在垂直腔表面发射激光器(VCSEL)(200)的筒体上形成高掺杂的半导体层(280),从而提供电流传导并使电流散布穿过并进入激光器筒体的开孔中,同时无需挡光的导电性接触件突出。该VCSEL(200)包括基底、第一分布式布拉格反射体(DBR)(230)、激活区(240)、具有非导电性离子注入区(255)和第一直径(260)的激光器筒体区的第二DBR、高掺杂的半导体层(280),以及导电性接触件(215)。该导电性接触件限定了具有大于第一直径的第二直径(265)的开口。