一种大尺寸硅片的表面清洁装置
基本信息
| 申请号 | CN202021983299.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213103522U | 公开（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申请公布号 | CN213103522U | 申请公布日 | 2021-05-04 |
| 分类号 | B08B3/02;B08B3/14;B08B1/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 蔡焱锋;李伟;雍丽娟;吴国辉;贺斌华 | 申请（专利权）人 | 杞县东磁新能源有限公司 |
| 代理机构 | 成都其高专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 廖曾 |
| 地址 | 475000 河南省开封市杞县葛岗镇楚寨村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及硅片技术领域，具体涉及一种大尺寸硅片的表面清洁装置，包括清洁装置主体，所述清洁装置主体包括处理箱，所述处理箱的内部设置有控制机构，所述控制机构包括伺服电机，所述伺服电机的一侧与处理箱的内壁连接，所述伺服电机的输出端连接有丝杆，所述丝杆的表面螺纹安装有空心移动杆，所述空心移动杆的顶端设置有毛刷，所述伺服电机的输出端缠绕有履带，所述处理箱两侧的内壁上通过转轴设置有放置板，所述放置板的顶端设置有夹持杆，所述夹持杆的一侧开设有放置槽。本实用新型通过设置有固定板和滚轮，毛刷在移动的同时，滚轮在固定板上滚动，给毛刷的移动提供支撑，提高了装置在使用时的稳定性。 |
