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光罩杂质去除设备和光罩杂质去除方法

基本信息

申请号 CN202110104814.X 申请日 -
公开（公告）号 CN112934850A 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN112934850A 申请公布日 2021-06-11
分类号 B08B5/04;B08B13/00 分类 清洁;
发明人 王嘉才;游聪敏;孙天赐;刘兆亮 申请（专利权）人 泉意光罩光电科技（济南）有限公司
代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 刘曾
地址 250000 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明的实施例提供了一种光罩杂质去除设备和光罩杂质去除方法，涉及半导体技术领域，该光罩杂质去除设备，包括承载装置和真空吸附枪，承载装置用于承载光罩，真空吸附枪与承载装置连接，用于吸附光罩表面的杂质。本发明将光罩放置在承载装置上，然后通过真空吸附枪吸附光罩表面的杂质，从而利用吸附的方式去除光罩表面的杂质，而吸附过程中不会出现微粒滚动现象，避免了刮伤光罩的表面，同时，由于吸附的特性，使得杂质不会因为气流陷在光罩内，且能够对陷入光罩内的杂质进行移除，能够有效去除光罩表面的杂质，保证了光罩的质量。