一种新型刻写窄线宽短腔长光纤光栅标准具的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910873891.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112526667A | 公开（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申请公布号 | CN112526667A | 申请公布日 | 2021-03-19 |
| 分类号 | G02B6/02(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 王长峰 | 申请（专利权）人 | 上海科乃特激光科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200240上海市闵行区剑川路951号综合业务楼1层1086室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型刻写窄线宽短腔长光纤光栅标准具的方法，应用包括紫外激光器，反射镜和相位掩膜板的光刻系统，有以下几个步骤：紫外激光器发出的紫外激光经由反射镜反射，打在相位掩模板上；在均匀的相位掩模板前方贴近放置小铁丝或铜丝，把相位掩模板的曝光区域平均分成两部分；对放置在掩模板后面的光纤进行折射率均匀调制，保证其他没有铁丝或铜丝的曝光区域长度一致，从而在光纤上形成两个参数一致的有一定间隔的光纤光栅，这就是光纤光栅标准具。 |
