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一种铸造单晶炉的对称性加热器结构及单晶铸造炉

基本信息

申请号 CN202210278917.2 申请日 -
公开（公告）号 CN114672872A 公开（公告）日 2022-06-28
申请公布号 CN114672872A 申请公布日 2022-06-28
分类号 C30B11/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 唐珊珊;唐青岗;常传波;刘立军;张亮;陈志军;李建铖;李早阳 申请（专利权）人 金阳硅业科技（徐州）有限公司
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 -
地址 710049陕西省西安市咸宁西路28号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种铸造单晶炉的对称性加热器结构及单晶铸造炉，包括第一加热器、第二加热器以及第三加热器，第一加热器、第二加热器以及第三加热器沿着圆形区域分别布置在2π/3范围内，在所述圆形区域内形成三个独立区域；第二加热器以及第三加热器关于其分界线对称，第一加热器关于其自身中心线对称，所述分界线和中心线重合；第一加热器、第二加热器以及第三加热器相邻的端部分别设置三个顶部电极，所述三个顶部电极沿一圆周均匀分布且位于三个独立区域的分界线上；提高加热器相互间蛇形间的横纵交叉密度，提高加热器面积上的辐射强度，使得三相加热器片上热量分布更加均匀；将顶部加热设计成圆形结构，使得加热器整体结构圆和炉体保持同心。