隧道场效应晶体管及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202011295454.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112397581B | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN112397581B | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | H01L29/739（2006.01）I;H01L21/331（2006.01）I;H01L29/15（2006.01）I;H01L29/10（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孔繁生;周华 | 申请（专利权）人 | 光华临港工程应用技术研发（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种隧道场效应晶体管及其制作方法。所述隧道场效应晶体管包括：衬底表面垂直设置的源极和漏极，以及源极和漏极之间导电沟道区；导电沟道区外围由内向外环绕设置栅氧化层和栅极；所述导电沟道区的材料为窄带超晶格材料。 |
