用于氧化镓材料的微波退火改性方法
基本信息
| 申请号 | CN202011603875.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112652539B | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN112652539B | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | H01L21/477（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马宏平;侯欣蓝 | 申请（专利权）人 | 光华临港工程应用技术研发（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于氧化镓材料的微波退火改性方法。所述用于氧化镓材料的微波退火改性方法包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底表面具有由氧化镓层；在预设温度下对所述氧化镓层进行微波退火处理，所述预设温度低于扩散温度，所述扩散温度为所述氧化镓层中的氧化镓材料与所述衬底之间发生热扩散的最低温度。本发明避免了现有传统的退火方式在退火过程中因退火温度过高而易发生氧化镓层与衬底之间热扩散的问题，且微波退火成本低廉，从而降低了氧化镓材料的退火处理成本，利于大规模量化生产。 |
