一种激光平整度测量误差补偿方法

基本信息

申请号 CN201310194842.0 申请日 -
公开(公告)号 CN103245309B 公开(公告)日 2017-12-12
申请公布号 CN103245309B 申请公布日 2017-12-12
分类号 G01B11/30 分类 测量;测试;
发明人 陈尚俭;郑俊;谭大鹏 申请(专利权)人 杭州鼎热科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 310019 浙江省杭州市江干区九盛路9号24幢1楼1056室
法律状态 -

摘要

摘要 一种激光平整度测量误差补偿方法,其特征在于,由亚像素图像散射补偿、基准倾角补偿、光斑异变对中补偿三部分组成,有效地提高激光平面度测量系统的测量精度。所述的亚像素图像散射补偿是利用像素边缘识别方法解决激光束由于长距离传输而产生的散射问题,可使得平面测量的垂直精度得到保证。所述的基准倾角补偿利用倾角变换高度方法解决激光标靶放置的基准偏差问题,可使得激光标靶的高度基准得到保证。所述的光斑异变对中补偿利用往复微动方法解决激光的光斑大小随着目标距离的变化而异变问题,提高激光点的投射精度。