一种缓冲腔、晶圆传送系统及其工作方法
基本信息
| 申请号 | CN202011283475.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112349633A | 公开（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申请公布号 | CN112349633A | 申请公布日 | 2021-02-09 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 邱勇;孙晓东 | 申请（专利权）人 | 上海讯颖电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦东新区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种缓冲腔、晶圆传送系统及其工作方法，缓冲腔包括：位于第一缓冲腔室主体中的若干层第一冷却盘，第一冷却盘包括第一晶圆接触区；位于第一晶圆接触区侧部且贯穿第一冷却盘的第一位移口；第一升降单元，第一升降单元包括位于第一支撑组件，第一支撑组件适于支撑晶圆的边缘，第一支撑组件适于在第一位移口的上方、第一位移口中、以及第一位移口的下方做往复运动；贯穿底层的第一冷却盘的第一探测通道；第一温度探测装置，第一温度探测装置朝向所述第一探测通道或者延伸至第一探测通道中。所述缓冲腔能够对晶圆的冷却降温过程进行监视和实时反馈，有效提升了冷却效率和传送能力。 |
