一种半导体加工用清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202011620408.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112827930A | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN112827930A | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | B08B3/10;B08B3/04;B08B3/14;B08B1/04;B08B1/00;B08B13/00;F26B21/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 孙晓东 | 申请（专利权）人 | 上海讯颖电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海微策知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张静 |
| 地址 | 202150 上海市崇明区长兴镇潘园公路1800号2号楼5791室（上海泰和经济发展区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体加工用清洗装置，包括底座、烘干箱和固定盒，所述底座的顶部安装有烘干箱，所述烘干箱的一侧安装有出风口，所述烘干箱的另一侧安装有固定盒，且固定盒的一侧贯穿烘干箱的内壁，所述底座的顶部安装有固定杆，所述固定杆的顶部安装有连接杆，所述连接杆的一侧安装有安装架，所述安装架的内部安装有第一电机，所述第一电机的输出端安装有第一旋转轴，所述第一旋转轴的一端安装有清洗仓，所述清洗仓的一侧安装有第二旋转轴，所述第二旋转轴的一端安装有安装板。本发明通过在底座的顶部安装有烘干装置，可以使烘干箱内的半导体进行烘干，从而可以使半导体可以更加快速的将水分烘干，从而可以提高工作效率。 |
