一种腔内晶圆寻心系统及其工作方法
基本信息
| 申请号 | 2020112845165 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112259487A | 公开（公告）日 | 2021-01-22 |
| 申请公布号 | CN112259487A | 申请公布日 | 2021-01-22 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 邱勇;孙晓东 | 申请（专利权）人 | 上海讯颖电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦东新区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种腔内晶圆寻心系统及其工作方法，腔内晶圆寻心系统包括：主体腔；位于所述主体腔内的晶圆支撑平台；位于所述晶圆支撑平台侧部且贯穿所述主体腔的底壁的若干位移孔；分别位于所述位移孔中的顶针，所述顶针包括顶针本体和限位部；位于所述主体腔的底部的顶针位置调节件，所述顶针位置调节件适于控制顶针至所述晶圆支撑平台的中心轴之间的距离，所述顶针位置调节件还适于控制所述顶针在所述位移孔中沿纵向往复移动。所述腔内晶圆寻心系统能够精确定位晶圆在主体腔中的位置，提高工艺重复性。 |
