一种硅基微显示面板的扩晶治具
基本信息
| 申请号 | CN201922474366.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211088221U | 公开（公告）日 | 2020-07-24 |
| 申请公布号 | CN211088221U | 申请公布日 | 2020-07-24 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 杜永群;李端鹏;单现峰;张政 | 申请（专利权）人 | 合肥视涯显示科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 合肥视涯显示科技有限公司 |
| 地址 | 230012安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种硅基微显示面板的扩晶治具，包括扩晶环和扩晶环承载治具；所述扩晶环包括子环和母环，所述母环上设置有凹槽，所述子环和所述母环的卡合组合；所述扩晶环承载治具包括外环面和内环面，所述内环面为镂空的圆形，所述内环面的直径小于所述扩晶环的母环的直径；在所述内环面的边缘设置有凸起卡扣，所述凸起卡扣和所述凹槽相互匹配；所述扩晶环承载治具的所述凸起卡扣卡入所述扩晶环的凹槽内，将所述扩晶环固定。本实用新型提供的适用于硅基微显示面板的扩晶治具，可适用于半自动扩膜工艺和全自动芯片拾取工艺，优化了硅基微显示面板的制造工序并且提高了良率。 |
