工件碳氮共渗工艺

基本信息

申请号 CN201611056235.8 申请日 -
公开(公告)号 CN106544625B 公开(公告)日 2019-01-08
申请公布号 CN106544625B 申请公布日 2019-01-08
分类号 C23C8/36(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 孙香兰; 李恩鸿; 李建辉; 田绍洁 申请(专利权)人 大连圣洁热处理科技发展有限公司
代理机构 大连东方专利代理有限责任公司 代理人 赵淑梅
地址 116000 辽宁省大连市金州新区铁山东路92号1-6层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种工件碳氮共渗工艺,属于金属材料表面处理领域。本发明采用等离子无氢渗碳法对钛合金的表面进行碳氮共渗处理,该方法以氩气和氮气的混合气为载气,控制混合气的工作压力在0.1Pa~30Pa,且随着碳氮共渗工艺的进行使混合气的工作压力逐渐减小;所述氩气和氮气的体积比为3~4:6~7,且随着碳氮共渗工艺的进行使混合气中氮气的比例逐渐增大。该方法通过控制载气氩气在真空炉内的分压及混合气体中氮气的含量,从而控制渗碳的速率,是的各厚度处的渗碳层具有相同的强度,进而提升整个渗碳表面的强度。