一种有效提高沉积炉恒温区均温性的碳毡保温层缠绕方法
基本信息
| 申请号 | CN202011391176.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112663020A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112663020A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | C23C16/26;C23C16/44 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邵忠 | 申请（专利权）人 | 内蒙古康碳复合材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海新隆知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 金利琴 |
| 地址 | 365000 福建省三明市永安市贡川镇水东园区21号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种有效提高沉积炉恒温区均温性的碳毡保温层缠绕方法，通过在发热体外表面沿高度方向缠绕不同厚度的碳毡保温层，改变发热体沿厚度方向上散热量来弥补通气时沿高度方向的温度差异。通过本发明此种方式处理，可有效改善高度方向的温度差异。 |
