一种振动检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202021148455.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213422398U | 公开（公告）日 | 2021-06-11 |
| 申请公布号 | CN213422398U | 申请公布日 | 2021-06-11 |
| 分类号 | G01H11/08（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 万蔡辛;何政达;刘新华 | 申请（专利权）人 | 无锡韦感半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京成创同维知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李镇江 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座C栋5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种振动检测装置。该振动检测装置包括衬底；背极；以及振膜结构；振膜结构可振动地设置于所述衬底和所述背极之间，并与所述背极形成电容，其中，所述振膜结构包括振膜以及位于所述振膜上表面和/或下表面的至少一个质量块，使所述振动检测装置对3‑12kHz带宽范围的信号敏感，所述振膜上还设置有加强筋，以改变所述振膜的刚性。本实用新型实施例提供的振动检测装置，在振膜的上表面和/或下表面设计有用于增加质量的质量块，以及用于改变振膜刚性的加强筋，形成了新的振膜结构，增加了对振动信号敏感的灵敏度，实现对人类语音范围内的机械/骨骼振动信号敏感。 |
