一种电镀阴极遮挡装置
基本信息
| 申请号 | CN202011354219.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112359399A | 公开（公告）日 | 2021-02-12 |
| 申请公布号 | CN112359399A | 申请公布日 | 2021-02-12 |
| 分类号 | C25D17/10(2006.01)I | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 吴勇军 | 申请（专利权）人 | 深圳明阳芯蕊半导体有限公司 |
| 代理机构 | 苏州华博知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨敏 |
| 地址 | 518101广东省深圳市宝安区新桥街道上星社区南环路第二工业区第4栋201 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种电镀阴极遮挡装置，所述遮挡装置包括固定部件和遮挡边框，所述固定部件用于实现与待镀板的固定，所述遮挡边框用于遮挡待镀板的边缘部分，其中，所述遮挡边框由导电材料制成并且外表面包覆有不导电材料，其中，所述遮挡边框的至少一部分为裸露的以暴露出部分导电材料。在本发明的上述电镀阴极遮挡装置中，通过位于待镀板边缘部分处的遮挡边框所暴露出的部分导电材料来达到吸引部分电力线的目的，以用来抵消边缘部分处的多余电力线以及尖端效应，从而使得板内的铜厚分布趋于稳定。 |
