一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置
基本信息
| 申请号 | CN201822076589.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209537632U | 公开（公告）日 | 2019-10-25 |
| 申请公布号 | CN209537632U | 申请公布日 | 2019-10-25 |
| 分类号 | C23F1/08（2006.01）I; C23F1/12（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈训海 | 申请（专利权）人 | 福建省顺昌富宝腾达化工有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市科吉华烽知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 福建省顺昌富宝腾达化工有限公司 |
| 地址 | 353200 福建省南平市顺昌县大干镇 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置，包括箱体，所述储液瓶的出液端安装有导流管，所述导流管套接于导气管的内侧，所述导气管和导流管的端侧均安装有挡板，所述挡板的中部均匀等距开设有通孔，所述挡板的侧部安装有滑槽，所述滑槽的内部活接有滑块，所述滑块的上部安装有电动推杆，所述滑块的上部安装有卡块，所述电加热器安装于储液瓶的下部，所述箱体的下部安装有排液管，所述排液管的下部安装有收集箱，所述收集箱的侧部安装有喷嘴，所述收集箱的侧部安装有水泵。本实用新型简便的调节氢氟酸蒸汽喷入后与硅衬板的接触部位，达到有效的刻蚀，同时，有效的实现刻蚀后氢氟酸蒸汽的处理，避免影响环境。 |
