四氯化硅冷氢化生产三氯氢硅
基本信息
| 申请号 | CN200910065761.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101618874B | 公开（公告）日 | 2011-04-27 |
| 申请公布号 | CN101618874B | 申请公布日 | 2011-04-27 |
| 分类号 | C01B33/107(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 张扬;马麟;李占青 | 申请（专利权）人 | 洛阳世纪新源硅业科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 471333 河南省洛阳市伊川县水寨镇左寨村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 四氯化硅冷氢化生产三氯氢硅，将四氯化硅和氢气混合汽化后与硅粉料、催化剂铜粉进入到高压状态进入到桶状冷氢化反应器中；在桶状冷氢化反应器中，在温度为300℃至500℃、压力为1.5至5.5MPa、PH为5至7、混和气体流速为12m/s的条件下进行连续反应，生成三氯氢硅。用本方法生产的三氯氢硅能达到直接用于生产电子级多晶硅的三氯氢硅，提高转化效率(达到30~35％)，整个过程中物料循环利用，无污染，有利于环境保护，减少企业成本、增加企业效益。 |
