一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置
基本信息
| 申请号 | CN202110441574.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113189850A | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN113189850A | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 肖燕青;王方江;陈海巍 | 申请（专利权）人 | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张勇 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋1-3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置，属于曝光设备技术领域。该双面曝光装置中对准装置和曝光装置均设置于曝光台面上方，解决了目前针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光存在的设备安装维护难的问题，该RTR柔性印刷电路板双面曝光装置通过巧妙设置支撑辊转换柔性印刷电路板的前进方向，使得曝光柔性印刷电路板的正反面在被曝光时，均处于吸附台面的上方，避免了现有的曝光装置曝光时柔性印刷电路板处于吸附台面的下方，完全依靠吸附力来应对柔性印刷电路板自身重力导致的无法保证基板的平面度的问题，提高了柔性印刷电路板双面曝光的合格率。 |
