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一种曝光设备的光源能量检测电路系统

基本信息

申请号	CN202121866942.X	申请日	-
公开（公告）号	CN215813731U	公开（公告）日	2022-02-11
申请公布号	CN215813731U	申请公布日	2022-02-11
分类号	G03F7/20（2006.01）I	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	肖燕青;路建军;吴永超	申请（专利权）人	无锡影速半导体科技有限公司
代理机构	哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司	代理人	张勇
地址	214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋1-3层
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种曝光设备的光源能量检测电路系统，属于曝光电路技术领域。该曝光设备的光源能量检测电路系统包括：电源模块、能量采集模块、数据处理模块和上位机。通过能量采集模块中的硅光电二极管把采集到的光信号转换为微弱的电流信号，经过采样电阻后转为相应的电压值，之后经过运算放大器将电压放大，通过公式I＝V/R得到电流值，根据光电二极管的光灵敏度参数K，通过公式P＝I/K得出对应的光功率值；该曝光设备的光源能量检测电路系统硬件构成简单，只需要将硅光电二极管处于曝光光源的光路正下方，使其完全接收到光路投射出的光信号，即可实现对光源能量便捷实时的检测。与通过相机测量对比，本申请通过硬件电路进行测量的结果误差较小。