一种等压式分区吸附工作台
基本信息
| 申请号 | CN202110219794.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112859546A | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN112859546A | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 肖燕青;曾振军;何伟;陈海巍;王方江 | 申请（专利权）人 | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林娟 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋1-3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种等压式分区吸附工作台，属于曝光设备技术领域。通过设置独立的抽真空共压腔，并通过抽真空管路连通每个工作区域对应的抽真空共压腔，使每个独立的工作区域在抽真空状态下，都处于同一腔体内，形成共压腔，从而保证每个独立工作区域在负压状态下的共压，解决现有技术每个独立工作区域在负压状态下压力不一的问题；通过设置抽真空控制气缸控制抽真空覆盖控制组件通断，实现最佳吸盘分区效果。 |
