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一种微型摩擦式能量采集器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201310517933.3 申请日 -
公开（公告）号 CN103523743B 公开（公告）日 2016-06-29
申请公布号 CN103523743B 申请公布日 2016-06-29
分类号 B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 张海霞;韩梦迪;孙旭明;刘雯;张晓升;孟博 申请（专利权）人 北京大学科技开发有限公司
代理机构 北京市商泰律师事务所 代理人 毛燕生
地址 100871 北京市海淀区北京大学红三楼105
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及MEMS集成加工技术领域，特别涉及一种微型摩擦式能量采集器及其制备方法，包括硅质量块及硅质量块上设有的底电极、摩擦材料、上电极；底电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化，摩擦材料通过化学气相沉积制备，底电极与摩擦材料接触并相互摩擦，上电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化；本发明的优势在于：本发明无需外加电源、无需制备驻极体，解决了传统静电式能量采集器的不足之处；本发明采用MEMS微加工工艺批量化生产，成本低、产量大、可控性好、适于商业生产与应用。