一种硅片烘干装置

基本信息

申请号 CN202022746505.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214065481U 公开(公告)日 2021-08-27
申请公布号 CN214065481U 申请公布日 2021-08-27
分类号 F26B9/06(2006.01)I;F26B21/00(2006.01)I;F26B21/04(2006.01)I;F26B21/08(2006.01)I;F26B21/12(2006.01)I;F26B25/06(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 干燥;
发明人 陈龙 申请(专利权)人 洛阳阿特斯光伏科技有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 471023河南省洛阳市洛龙科技园关林大道10号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域,公开一种硅片烘干装置。该硅片烘干装置包括烘干箱、鼓风组件、加热箱和变频器,烘干箱能够承载待烘干硅片,加热箱设置于鼓风组件和烘干箱之间并分别与两者相连通,鼓风组件能够向加热箱内部吹风,加热箱用于对其内部的风进行加热,经加热箱加热后的风能够进入烘干箱,以烘干待烘干硅片,变频器被配置为调节鼓风组件的出风频率。本实用新型提供的硅片烘干装置,通过设置变频器来实现对鼓风组件的出风频率的调节,可以起到对待烘干硅片有效的保护作用,防止待烘干硅片由于出风频率过大造成的裂片或者由于出风频率过小造成的烘干不及时而在待烘干硅片留下水渍的情况发生,可以提高产品质量。