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一种高温清洗防漂片夹具

基本信息

申请号 CN201922254781.8 申请日 -
公开（公告）号 CN211247691U 公开（公告）日 2020-08-14
申请公布号 CN211247691U 申请公布日 2020-08-14
分类号 B08B13/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 -
发明人 崔文荣 申请（专利权）人 江苏晟驰微电子有限公司
代理机构 北京天盾知识产权代理有限公司 代理人 江苏晟驰微电子有限公司
地址 226600江苏省南通市海安经济技术开发区康华路55号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种高温清洗防漂片夹具，包括夹具本体，夹具本体包括提手，提手由左纵杆、右纵杆和上横杆组成，且左纵杆、右纵杆和上横杆一体成型形成U形结构，左纵杆下端部设置第一内卡块，右纵杆下端部设置第二内卡块，且第一内卡块、第二内卡块与片架两侧的卡槽相匹配，左纵杆和右纵杆外壁上均开有卡接槽，两个卡接槽之间卡接挡杆，本实用新型结构设计新颖，制作方便，有效的阻止晶圆在清洗过程中从承载工装——花篮内向上浮出，百分之百避免因工艺条件导致的硅片上浮产生不良的现象，提高产品良率，做到0漂浮不良产生。