一种扩散炉清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201922253449.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211464158U | 公开（公告）日 | 2020-09-11 |
| 申请公布号 | CN211464158U | 申请公布日 | 2020-09-11 |
| 分类号 | B08B9/027(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 崔文荣 | 申请（专利权）人 | 江苏晟驰微电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京天盾知识产权代理有限公司 | 代理人 | 江苏晟驰微电子有限公司 |
| 地址 | 226600江苏省南通市海安经济技术开发区康华路55号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种扩散炉清洗装置，包括槽体本体，槽体本体上设有2个单独的同级清洗槽，槽体本体内部安装有旋转电机，所述旋转电机外接齿轮连接2根旋转轴，旋转轴上装有滚轮，滚轮上装有2根软质皮带，处理管道时与管道接触，在靠近旋转电机侧，两根旋转轴的中间位置设有一根进水管，进水管由机台底部引出，电磁阀控制进水开关，进水管口接PP材质软管，槽体本体尾端设有排液口，本实用新型保护了炉管的高温涂层，延长了炉管的使用寿命；降低了了炉管清洗工序的成本，单次化学试剂消耗量降低50％。 |
